1.硬件控制系統(tǒng)。該坐標(biāo)測(cè)量機(jī)系統(tǒng)包括電力驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)和控制柜。電驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)包括氣墊、鋼帶、摩擦輥、電機(jī)、過(guò)濾器、調(diào)壓閥、氣壓計(jì)等多部分，控制柜具有糾錯(cuò)功能，可對(duì)坐標(biāo)進(jìn)行實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)修正測(cè)量機(jī)和傳感器，以保證測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。

2、探針系統(tǒng)。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的測(cè)頭系統(tǒng)包括測(cè)頭、吸盤(pán)、測(cè)頭、光柵尺和讀數(shù)頭等；每個(gè)組件都有自己的特點(diǎn)和功能，缺一不可。如果缺少任何組件，將導(dǎo)致整體無(wú)法正常工作。

3.數(shù)據(jù)處理軟件系統(tǒng)。它是一種測(cè)量軟件。通過(guò)該軟件，可以將CAD數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為測(cè)量程序，從而獲得準(zhǔn)確的檢測(cè)方案。

4. 其他部分。包括電磁閥、支撐底座、減震器、三軸導(dǎo)軌平衡油缸、花崗巖臺(tái)面等，這些部件雖然不是主要設(shè)備，但都非常重要，作用不容忽視。