測量精度: 1.8um起


特性:

加厚的臺面設(shè)計(jì)為中型工件提供了可靠的測量支撐。

Y向?qū)к壊捎醚辔彩浇Y(jié)構(gòu),定位精度高,穩(wěn)定性能好。

系列化的規(guī)格尺寸設(shè)計(jì),為用戶提供不同大小工件的測量需求。

Z軸先進(jìn)的氣動平衡技術(shù),極大的提高了Z軸的定位精度及穩(wěn)定性。

雷尼紹插槽式光柵RTLC系列測量位置反饋系統(tǒng)。

配置先進(jìn)的實(shí)時(shí)溫度補(bǔ)償系統(tǒng),高了產(chǎn)品溫度適用范圍。

多種豐富的測量配置可完成復(fù)雜的測量需求。

可提供多種測量應(yīng)用配置方案。

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格: 121510、 122210、 123010、152212、153012、152014、 152614、 153314




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